Analyse af bearbejdningsobjekt
Materiale: kvartsglas af optisk kvalitet
Behandlingsfunktioner: multi-overfladekonturslibning (inklusive 3 asymmetriske facetter)
Nøgledimensioner: 16×16×10 mm (fejl ±0,002 mm)
Dette kvartsprisme, som kun er på størrelse med en fingernegl, er det kernelys-ledende element i det optiske system i en høj-hjemlig litografimaskine. Dens 8 komplekse buede overflader skal opnå 99,6 % transmittans og brydningsnøjagtighed på nanometer-niveau, og overfladeruheden påvirker direkte litografimaskinens eksponeringsopløsning.
Industrielle smertepunkter og tekniske vanskeligheder
Et optisk teknologifirma stødte på en flaskehals i kvartsprismebehandling, da de fremmede lokaliseringen af litografimaskiner:
Traditionelle slibefejl: Ruheden efter manuel polering når stadig Sa 120nm, hvilket resulterer i 15 % lysspredningstab
Udstyrsafhængighed af import: Prisen på en enkelt japansk ultra-præcisionssliber overstiger 20 millioner yuan, og leveringsperioden er så lang som 18 måneder
"Udbyttekrise".: Kun 32 af det første parti på 500 prøveproduktioner opfyldte standarderne, hvilket for alvor trak projektets fremskridt ned
Dilemmaet med "ikke har råd til importeret udstyr, og indenlandske processer er ikke gode" blokerede direkte processen med uafhængig udvikling af litografimaskiner.
BISHENløsningers løsning
Som svar på de ekstreme præcisionskrav til optiske komponenter har BISHENs tekniske team udviklet innovativ forskning og udvikling:
1. Ultralyds lodret fem-akse koblingsbehandlingssystem
Dynamisk kompensation på 2. 0.1μm-niveau, præcis styring af 18-akse koblingsmaskiner
3. Matchende asymmetrisk overflade CAD/CAM intelligent programmering
4. Høj-frekvent ultralydsassisteret slibeteknologi
5. 40kHz ultralydsvibration reducerer 52 % af skærebelastningen og undgår kvartsmikroprevner
6. Diamantmikro-pulverslibeskivens levetid forlænges med 3 gange
Faktisk målt præstationsspring
Der er opnået tre store gennembrud i masseproduktionen af en bestemt type husholdningslitografimaskineprisme:
1. Overfladekvalitet: Ruhed Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Bearbejdningseffektivitet: Enkelt-arbejdstimer komprimeres fra 14 timer til 3,5 timer
3. Omkostningskontrol: Udstyrsinvestering er kun 1/5 af den importerede løsning
Udbyttegraden for det første parti på 3.000 produkter steg til 98,7 %, hvilket hjalp kunderne med at færdiggøre samlingen af prototyper 6 måneder før tidsplanen
omBISHEN
BISHENPrecision Technology (grundlagt i 2017) fokuserer på at bryde igennem "flaskehalsteknologien" inden for high-fremstilling. Den har bygget en 7.500 kvadratmeter stor digital fabrik i Dongguan, udstyret med importerede udstyrsklynger som f.eks. fem-forbindelsesbearbejdningscentre og ultra-optiske slibemaskiner. Ved at anvende innovative teknologier såsom ultralydsbearbejdning og kryogenskæring til halvlederudstyr, optoelektroniske instrumenter og andre områder, har det leveret nøglebearbejdningsløsninger til mere end 20 indenlandske litografimaskineindustrikædevirksomheder og har leveret mere end 500.000 præcisionsoptiske komponenter.
