Casestudie: Gennembrud i kvartsglas substratbehandling
Bearbejdningsobjekt: kvartsglassubstrat til fotolitografi
Specifikationer:
Materiale: 99,99 % høj-kvartsglas
Behandlingsfunktioner: dobbelt-sidet C0.2 affasning + lodret sidevæg
Overfladekrav: Ra < 150nm (spejlkvalitet)
Dimensioner: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
Analyse af smertepunkter i industriens behandling
Som kerneforbrugsstofferne i halvlederfremstillingsudstyr skal kvartsdele til fotolitografi samtidig opfylde tre strenge standarder: materialetransmittans > 99,6 %, dimensionstolerance ±10μm og sidevægsruhed Ra < 150nm. Den traditionelle forarbejdningsmetode bruger slibehjulsslibeproces, som har to store industriproblemer:
Effektivitetsflaskehals: enkelt-behandling tager op til 120 minutter
Overfladefejl: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Tab af værktøj: almindelig værktøjslevetid er mindre end 50 stk
BISHENløsninger teknologisk innovation
I lyset af de hårde og skøre egenskaber ved kvartsmaterialer, en kompositforarbejdningsløsninger vedtaget:
• 20kHz ultralydspræcisionsgravering og fræsesystem
• Integreret PCD mikro-knivfræser (kant R0,05 mm)
• Aksialt lagdelt skæreproces (2μm pr. lag)
Sammenligning af målte behandlingsfordele
Gennem procesverifikation og sammenligning er nøgleindikatorerne blevet væsentligt forbedret:
Industrianvendelsesværdi
Denne løsning løste succesfuldt "flaskehals"-behandlingsproblemet i lokaliseringsprocessen af litografimaskinedele, hvilket øgede kvartssubstratproduktionskapaciteten fra 10 stykker pr. dag til 50 stykker og forarbejdningskvalifikationsraten fra 63% til 98,5%. Ifølge påvisningen af Zeiss laser interferometer, er behandlingsoverfladenøjagtigheden PV værdi<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
OmBISHEN
Bishen præcisionhar specialiseret sig i præcisionsbearbejdning af hardwaredele med 7.500 kvadratmeter standardiserede værksteder, og dets tjenester dækker rumfart, medicinsk udstyr, industrirobotter og andre områder. Med evnen til at behandle komplekse strukturelle dele og ISO-systemcertificering giver det kunderne fuld-procesløsninger fra design og udvikling til masseproduktion.
